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序号 条目流水号 申报书号 采购单位名称 项目编号 项目名称 包组 品名 规格 单价 数量 控制金额 中标商 中标总价(元) 中标日期 设计费 监理费 勘察费
1 992911416 992911364 深圳清华大学研究院 SZDL2022341498 感应耦合等离子体刻蚀机(介质)、感应耦合等离子体刻蚀机(金属)、感应耦合等离子体增强化学气相沉积机 A 感应耦合等离子体刻蚀机(介质)、感应耦合等离子体刻蚀机(金属)、感应耦合等离子体增强化学气相沉积机 感应耦合等离子体刻蚀机(介质)、感应耦合等离子体刻蚀机(金属):通过感应耦合(ICP)方式产生高密度等离子体,实现对介质(例如SiO2、SiNx等)的选择性干法刻蚀。适用于8英寸、6英寸、4英寸及更小的晶圆片和碎片。设备包括以下主要部件:反应腔室、下电极、上电极(ICP 源)、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统及软件、终点检测装置、附件等。反应腔室本底真空≤ 1E-6 mbar;真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s。温度控制采用背氦传热的动态温度控制系统、配有内置加热器和外置循环冷却器,温度控制范围不低于-20 ~ +200°C,温度控制精度±1°C。等离子体密度可达1E+12 cm-3。 感应耦合等离子体增强化学气相沉积机:通过感应耦合(ICP)方式产生高密度等离子体,在半导体或有机材料衬底上沉积高质量、低应力、低损伤的氧化硅、氮化硅、氮氧硅、非晶硅、微晶硅薄膜等。适用于8英寸、6英寸、4英寸及更小的晶圆片和碎片。高真空泵:水平放置的磁浮涡轮分子泵,防腐蚀设计,抽速≥ 1300 L/s。等离子体密度可达1E+12 cm-3。本底真空:≤ 1E-6 mbar。 2,700,000.00 3 16,200,000.00 深圳市弗劳恩科技发展有限公司 7,900,000.00 2022-07-05      
2 953084481 953084413 深圳大学 SZDL2021339664 深圳大学食堂食材配送服务(清真冻品类) A 深圳大学食堂食材配送服务(清真冻品类)   7,800,000.00 1 15,600,000.00 深圳旺德福农产品有限公司 7,800,000.00 2022-08-02      
3 953096640 953096572 深圳大学 SZDL2021339676 深圳大学食堂食材配送服务(淡水鱼产品) A 深圳大学食堂食材配送服务(淡水鱼产品)   3,250,000.00 1 6,500,000.00 深圳市绿保康餐饮管理有限公司 3,250,000.00 2022-07-26      
4 953090978 953090940 深圳大学 SZDL2021339678 深圳大学食堂食材配送服务(河粉面制品) A 深圳大学食堂食材配送服务(河粉面制品)   2,600,000.00 1 5,200,000.00 深圳市绿保康餐饮管理有限公司 2,600,000.00 2022-07-19      
5 944006962 942949037 深圳市公共交通管理局 SZDL2021338146 深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划(2021-2023) A 深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划(2021-2023)   1,234,000.00 1 5,600,000.00 深圳市都市交通规划设计研究院有限公司 1,229,800.00 2022-08-23      
6 942949727 942949037 深圳市公共交通管理局 SZDL2021338146 深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划(2021-2023) A 深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划(2021-2023)   1,566,000.00 1 5,600,000.00 深圳市都市交通规划设计研究院有限公司 1,565,200.00 2022-08-23      
7 984793807 984793759 国家超级计算深圳中心(深圳云计算中心) SZDL2022341495 超算中心政务云分区核心设备及软件维保服务 A 超算中心政务云分区核心设备及软件维保服务   1,500,000.00 1 3,000,000.00 深圳市星网信通科技有限公司 1,474,333.86 2022-07-28      
8 975584259 975546287 深圳市龙华区人民检察院 SZDL2021341413 食堂食材配送服务 A 食堂食材配送服务   2,248,000.00 1 4,496,000.00 深圳市九连山农产品配送有限公司 2,248,000.00 2022-07-15