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序号
条目流水号
申报书号
采购单位名称
项目编号
项目名称
包组
品名
规格
单价
数量
控制金额
中标商
中标总价(元)
中标日期
设计费
监理费
勘察费
1
992911416
992911364
深圳清华大学研究院
SZDL2022341498
感应耦合等离子体刻蚀机（介质）、感应耦合等离子体刻蚀机（金属）、感应耦合等离子体增强化学气相沉积机
A
感应耦合等离子体刻蚀机（介质）、感应耦合等离子体刻蚀机（金属）、感应耦合等离子体增强化学气相沉积机
感应耦合等离子体刻蚀机（介质）、感应耦合等离子体刻蚀机（金属）：通过感应耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，实现对介质（例如SiO2、SiNx等）的选择性干法刻蚀。适用于8英寸、6英寸、4英寸及更小的晶圆片和碎片。设备包括以下主要部件：反应腔室、下电极、上电极（ICP 源）、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统及软件、终点检测装置、附件等。反应腔室本底真空≤ 1E-6 mbar；真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s。温度控制采用背氦传热的动态温度控制系统、配有内置加热器和外置循环冷却器，温度控制范围不低于-20 ~ +200°C，温度控制精度±1°C。等离子体密度可达1E+12 cm-3。 感应耦合等离子体增强化学气相沉积机：通过感应耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在半导体或有机材料衬底上沉积高质量、低应力、低损伤的氧化硅、氮化硅、氮氧硅、非晶硅、微晶硅薄膜等。适用于8英寸、6英寸、4英寸及更小的晶圆片和碎片。高真空泵：水平放置的磁浮涡轮分子泵，防腐蚀设计，抽速≥ 1300 L/s。等离子体密度可达1E+12 cm-3。本底真空：≤ 1E-6 mbar。
2,700,000.00
3
16,200,000.00
深圳市弗劳恩科技发展有限公司
7,900,000.00
2022-07-05
2
953084481
953084413
深圳大学
SZDL2021339664
深圳大学食堂食材配送服务（清真冻品类）
A
深圳大学食堂食材配送服务（清真冻品类）
7,800,000.00
1
15,600,000.00
深圳旺德福农产品有限公司
7,800,000.00
2022-08-02
3
953096640
953096572
深圳大学
SZDL2021339676
深圳大学食堂食材配送服务（淡水鱼产品）
A
深圳大学食堂食材配送服务（淡水鱼产品）
3,250,000.00
1
6,500,000.00
深圳市绿保康餐饮管理有限公司
3,250,000.00
2022-07-26
4
953090978
953090940
深圳大学
SZDL2021339678
深圳大学食堂食材配送服务（河粉面制品）
A
深圳大学食堂食材配送服务（河粉面制品）
2,600,000.00
1
5,200,000.00
深圳市绿保康餐饮管理有限公司
2,600,000.00
2022-07-19
5
944006962
942949037
深圳市公共交通管理局
SZDL2021338146
深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划（2021-2023）
A
深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划（2021-2023）
1,234,000.00
1
5,600,000.00
深圳市都市交通规划设计研究院有限公司
1,229,800.00
2022-08-23
6
942949727
942949037
深圳市公共交通管理局
SZDL2021338146
深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划（2021-2023）
A
深圳市公共交通线网三年滚动规划及年度实施计划（2021-2023）
1,566,000.00
1
5,600,000.00
深圳市都市交通规划设计研究院有限公司
1,565,200.00
2022-08-23
7
984793807
984793759
国家超级计算深圳中心（深圳云计算中心）
SZDL2022341495
超算中心政务云分区核心设备及软件维保服务
A
超算中心政务云分区核心设备及软件维保服务
1,500,000.00
1
3,000,000.00
深圳市星网信通科技有限公司
1,474,333.86
2022-07-28
8
975584259
975546287
深圳市龙华区人民检察院
SZDL2021341413
食堂食材配送服务
A
食堂食材配送服务
2,248,000.00
1
4,496,000.00
深圳市九连山农产品配送有限公司
2,248,000.00
2022-07-15
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